RU | EN
Разработка и изготовление чувствительных элементов и МЭМС-датчиков


Разработка и изготовление чувствительных элементов и МЭМС-датчиков

Специалисты ОАО "МИНСКИЙ НИИ РАДИОМАТЕРИАЛОВ" могут провести ОКР/НИР в области разработки различных МЭМС-датчиков

При разработке и изготовлении чувствительных элементов - основы интеллектуальных датчиков - используются современные технологии микромеханики:

  • глубокое анизотропное и изотропное химическое травление кремния;
  • прецизионное травление кремния;
  • сварка «кремний-стекло»;
  • технология создания высоколегированных р+ слоёв с концентрацией 1021см-3 как стоп-слоёв при создании мембран;
  • технология соединения деталей МЭМС датчиков с помощью легкоплавкого стекла.

Указанные технологии используются при создании:

ОАО «МИНСКИЙ НИИ РАДИОМАТЕРИАЛОВ» располагает современной технологической и производственной базой необходимой для проведения процесса 2-х сторонней фотолитографии на пластинах Ø76мм и Ø100мм, включая проведение всех сопутствующих операций связанных с процессом. А также имеет возможность и опыт применения 2-х сторонней фотолитографии для создания топологии различного уровня сложности, при изготовлении 2-х сторонних печатных плат.

Для оперативного решения возникающих вопросов организационного порядка Ваши специалисты могут обращаться непосредственно к начальнику отдела маркетинга и сбыта Здобникову Александру Константиновичу, тел. (+37517) 398 30 13, моб.тел. (+37533) 333 95 22, электронная почта marketing@mniirm.by





Назад в раздел
ул. Лейтенанта Кижеватова, 86-2 Минск 220024
Республика Беларусь
Тел.: +375 17 398-11-06
e-mail: mniirm@mniirm.by
Режим работы: 8.20 - 17.00