RU | EN
Фотошаблоны под фотолитографию


Фотошаблоны под фотолитографию

Генератор изображений (ГИ) лазерный многоканальный ЭМ-5189-02 предназначен для формирования топологических структур на полупроводниковых пластинах и фотошаблонных заготовках - изготовления фотошаблонов, в том числе обеспечивает изготовление фотошаблонов на заготовках до 8 дюймов, изготовление фотошаблонов с минимальным размером элемента 0,6 мкм. 

Генератор относится к устройству 5-го поколения – уровень технологии-350 нм.    
ГИ обеспечивает изготовление изделий под технологию фотолитографии с использованием фоторезистов, область максимальной чувствительности которых находится в области ближнего УФ-излучения. Рисунок формируется сфокусированным лазерным излучением с длиной волны 355 нм.
ГИ формирует изображение на заготовках, удовлетворяющих следующим требованиям:
 - полированные подложки - с типоразмерами 76 мм, 100 мм ;
 - стеклянные подложки для металлизированных фотошаблонов из материала с низким и очень низким коэффициентом теплового расширения - с типоразмерами 127 мм (5"), 152 мм (6") и 178 мм (7"), 215 (8") толщиной от 2.2 мм до 6.4 мм.     

Генератор позволяет не только удовлетворять потребности микроэлектроники, но и использоваться для изготовления масок с применением их при производстве оптических приборов и ЖК-экранов.

Характеристики получаемых фотошаблонов: 
  • минимальный размер элемента ...........................0,6 мкм, 
  • неровность края элемента...............   не более 0,3 мкм,  
  • скругление угла элемента...................не более 0,5 мкм,  
  • погрешность стыковки полос ............не более ±40 нм;    
  •  погрешность совмещения ..................не более ±70 нм.  
Типы изготавливаемых изделий: 

  1. Фотошаблоны с железноокисным маскирующим покрытием - применяемый фоторезист Microposit S1813 с толщиной пленки 0,5 мкм.  
  2. Фотошаблоны с хромовым маскирующим покрытием - применяемый фоторезист Microposit S1805 с толщиной пленки 0,5 мкм.

Предварительные условия исполнения возможного заказа фотошаблонов: 

- ориентировочные сроки изготовления комплекта из 10 шаблонов – 10 рабочих дней;
- представление сведений о топологии – в электронном виде в формате ACAD не ниже 2010. 

 
Окончательные сроки и стоимость изготовления определяются в процессе подготовки конкретного заказа.




Назад в раздел
ул. Лейтенанта Кижеватова, 86-2 Минск 220024
Республика Беларусь
Тел.: +375 17 398-11-06
e-mail: mniirm@mniirm.by
Режим работы: 8.20 - 17.00