Фаундри-паслугі па стварэнні ЗВЧ Міс

Грамадства аказвае поўны цыкл фаундри-паслуг па стварэнні (выкананне Нір і акр), вырабе эксперыментальных і дасведчаных узораў, вытворчасці шырокага пераліку ЗВЧ Міс L-, S-, X - і К-дыяпазонаў на матэрыялах А3В5 па патрабаванням заказчыка (частотны дыяпазон, каэфіцыенты ўзмацнення, шуму, выходная магутнасць і т.п.).

Асвоены наступныя тэхналогіі:

* 200 нм рНЕМТ (прыклад: малашумлівы ўзмацняльнік);

* 200 нм DрНЕМТ (Узмацняльнік магутнасці 9-10 ГГц і ўзмацняльнік магутнасці 30-36 ГГц);

* Шотткi дыёдаў (модуль пераўтваральніка частоты 6-18 ГГц і 14-22 ГГц, ахоўнае прылада 2,5-12 ГГц);

* pin дыёдаў (модуль ахоўнага прылады 2-4 ГГц);

* гетэраструктурных біпалярных транзістараў GаAs.

Тэхналогіі ўключаюць поўны набор аперацый, неабходных для вырабу ЗВЧ-прылад, якія дазваляюць вырабляць пасівацыі ВСВ і патаненне пласцін, фармаваць:

• актыўныя элементы (транзістары, дыеды) з выкарыстаннем электроннай літаграфіі;

* гальванічныя індуктыўнасці з "паветранымі" мастамі;

* МДМ кандэнсатары;

* тонкаплёнкавыя рэзістары;

* скразныя адтуліны.

Для прылад на кераміцы распрацаваны і выкарыстоўваюцца тэхналогіі:

* фарміравання микрополосковых ліній, вырашчаных гальванічным метадам;

* тонкаплёнкавых рэзістараў;

* металізаваных скразных адтулін, як "глухіх", зарашчаныя металам, так і адкрытых.

База схематэхнічных рашэнняў для розных прылад і бібліятэка стандартных элементаў інстытут дазваляюць праводзіць працы ў тэрміны ад 4 месяцаў.

Тэрміны распрацоўкі фільтраў на стандартных падкладках - ад 1 да 2 месяцаў.

Для вырабленых узораў праводзяцца неабходныя вымярэння на ўласнай стэндавай базе грамадства. Тэставанне мікрасхем фільтраў праводзіцца на зондавай станцыі.

Нараўне з размяшчэннем фаундри-заказаў, У якасці асобнай паслугі, заказчык могуць скарыстацца магчымасцямі вытворчых участкаў грамадства:

* вырабу фоташаблонаў пад фоталітаграфію;

* вырабу пласцін А3В5;

* лазернай рэзкі керамічных матэрыялаў;

* выраб поплаткаў на керамічных і палімерных пласцінах;

* крышталёвай мікразборкі.

Пасля завяршэння выпрабаванняў пастаўленых вопытных узораў можа быць аформлены заказ на выраб ўзгодненай партыі ЗВЧ-прылад.