Распрацоўка і выраб адчувальных элементаў і МЭМС-датчыкаў

Спецыялісты ААТ "МІНСКІ НДІ РАДЫЕМАТЭРЫЯЛАУ" могуць правесці АКР/НДР у галіне распрацоўкі розных МЭМС-датчыкі

Пры распрацоўцы і вырабе адчувальных элементаў-асновы інтэлектуальных датчыкаў-выкарыстоўваюцца сучасныя тэхналогіі мікрамеханікі:

* глыбокае анізатропнае і ізатропнай хімічнае тручэнне крэмнія;

* прэцызійныя тручэнне крэмнія;

* зварка " крэмній-Шкло»;

* тэхналогія стварэння высоколегированных р + слаёў з канцэнтрацыяй 1021см-3 як стоп-слаёў пры стварэнні мембран;

* Тэхналогія злучэння дэталяў МЭМС датчыкаў з дапамогай лёгкаплаўкага шкла.

 Названыя тэхналогіі выкарыстоўваюцца пры стварэнні:

* датчыкаў паскарэння да 10g кампенсацыйнага тыпу;

* датчыкаў кута нахілу з хібнасцю ±10 сек ў дыяпазоне ±10;

* датчыкаў ціску з хібнасцю 0,08%;

* хімічных датчыкаў для вызначэння Н2 і СА на ўзроўні адзінак ррм з магутнасцю спажывання ≤ 10 мвт.

ААТ " МІНСКІ НДІ РАДЫЁМАТЭРЫЯЛАЎ " валодае сучаснай тэхналагічнай і вытворчай базай неабходнай для правядзення працэсу 2-х іншай фоталітаграфіі на пласцінах Ø76мм і Ø100мм, уключаючы правядзенне ўсіх спадарожных аперацый звязаных з працэсам. А таксама мае магчымасць і вопыт прымянення 2-х іншай фоталітаграфіі для стварэння тапалогіі рознага ўзроўню складанасці, пры вырабе 2-х іншых друкаваных плат.