Разработка и изготовление чувствительных элементов и МЭМС-датчиков
RU | BY | EN | Версия сайта для слабовидящих
Разработка и изготовление чувствительных элементов и МЭМС-датчиков


Разработка и изготовление чувствительных элементов и МЭМС-датчиков

Специалисты ОАО "МИНСКИЙ НИИ РАДИОМАТЕРИАЛОВ" могут провести ОКР/НИР в области разработки различных МЭМС-датчиков

При разработке и изготовлении чувствительных элементов - основы интеллектуальных датчиков - используются современные технологии микромеханики:

  • глубокое анизотропное и изотропное химическое травление кремния;
  • прецизионное травление кремния;
  • сварка «кремний-стекло»;
  • технология создания высоколегированных р+ слоёв с концентрацией 1021см-3 как стоп-слоёв при создании мембран;
  • технология соединения деталей МЭМС датчиков с помощью легкоплавкого стекла.

Указанные технологии используются при создании:

ОАО «МИНСКИЙ НИИ РАДИОМАТЕРИАЛОВ» располагает современной технологической и производственной базой необходимой для проведения процесса 2-х сторонней фотолитографии на пластинах Ø76мм и Ø100мм, включая проведение всех сопутствующих операций связанных с процессом. А также имеет возможность и опыт применения 2-х сторонней фотолитографии для создания топологии различного уровня сложности, при изготовлении 2-х сторонних печатных плат.

Для оперативного решения возникающих вопросов организационного порядка Ваши специалисты могут в отдел маркетинга и снабжения ,тел.(+37517)270-96-25,моб.тел.(+37533)333 95 22,электронная почта marketing@mniirm.by




Назад в раздел
ул. Лейтенанта Кижеватова, 86-2 Минск 220024
Республика Беларусь
Тел.: 8 (10-375-17) 270 96 06
Факс: 8 (10-375-17) 270 96 11
Режим работы: 09.00 - 18.00