RU | BY | EN | Версия сайта для слабовидящих
ФОТОШАБЛОНЫ ПОД ФОТОЛИТОГРАФИЮ


Фотошаблоны под фотолитографию

Генератор изображений (ГИ) лазерный многоканальный ЭМ-5189-02 предназначен для формирования топологических структур на полупроводниковых пластинах и фотошаблонных заготовках - изготовления фотошаблонов, в том числе обеспечивает изготовление фотошаблонов на заготовках до 8 дюймов, изготовление фотошаблонов с минимальным размером элемента 0,6 мкм. 

Генератор относится к устройству 5-го поколения – уровень технологии - 350 нм.     
ГИ обеспечивает изготовление изделий под технологию фотолитографии с использованием фоторезистов, область максимальной чувствительности которых находится в области ближнего УФ-излучения. Рисунок формируется сфокусированным лазерным излучением с длиной волны 355 нм. 
ГИ формирует изображение на заготовках, удовлетворяющих следующим требованиям: 
- полированные подложки - с типоразмерами 76 мм, 100 мм ; 
- стеклянные подложки для металлизированных фотошаблонов из материала с низким и очень низким коэффициентом теплового расширения - с типоразмерами 127 мм (5"), 152 мм (6") и 178 мм (7"), 215 (8") толщиной от 2,2 мм до 6,4 мм.     

Генератор позволяет не только удовлетворять потребности микроэлектроники, но и использоваться для изготовления масок с применением их при производстве оптических приборов и ЖК-экранов.

Характеристики получаемых фотошаблонов: 
Минимальный размер элемента, мкм0,6
Неровность края элемента, мкм, не более       0,3
Скругление угла элемента, мкм, не более0,5
Погрешность стыковки полос, нм, не более±40
Погрешность совмещения, нм, не более±70

Типы изготавливаемых изделий: 
1. Фотошаблоны с железноокисным маскирующим покрытием - применяемый фоторезист Microposit S1813 с толщиной пленки 0,5 мкм.   
2. Фотошаблоны с хромовым маскирующим покрытием - применяемый фоторезист Microposit S1805 с толщиной пленки 0,5 мкм.

Предварительные условия исполнения возможного заказа фотошаблонов: 
- ориентировочные сроки изготовления комплекта из 10 шаблонов – 10 рабочих дней;
- представление сведений о топологии – в электронном виде в формате ACAD не ниже 2010. 

  
Окончательные сроки и стоимость изготовления определяются в процессе подготовки конкретного заказа.




Назад у падзел
вул. лейтэнанта Кіжаватава, 86-2 Мiнск, 220024
Рэспублика Беларусь
Тэл.: 8 (10-375-17) 270 96 06
Факс: 8 (10-375-17) 270 96 11
e-mail: mniirm@mniirm.by
Рэжым працы: 8.20 - 17.00