Рэцыклiнг пласцін арсенід галія GaAs

Існуе цэлы шэраг разнавіднасцяў шлюбу паверхні пласцін арсенід галія, які ўтвараецца на розных стадыях вырабу паўправадніковых прыбораў.

Пры правядзенні працэсаў эпітаксіі, фоталітаграфіі, металізацыі і іншых частка пласцін адбракоўваецца і адбіраецца з тэхналагічнага працэсу. На паверхні такіх пласцін знаходзяцца пласты эпітаксіяльная плёнак, фотарэзіста, металу.

У ААТ " МІНСКІ НДІ РАДЫЁМАТЭРЫЯЛАЎ " распрацавана тэхналогія аднаўлення пласцін А3В5, якая рэалізуецца на ўласным вытворчым участку.

У рамках тэхналагічнага працэсу пласціны сартуюцца па відах деффектов, глыбіні парушэнняў, таўшчыні пласцін. Затым бракаваныя пласціны арсенід Галіі праходзяць ачыстку і хімічную апрацоўку паверхні.

У далейшым адбываецца выдаленне парушаных слаёў хіміка-механічнай паліроўкай вырабляецца предэпитаксиальная апрацоўка паверхні і пласціны пакуюцца ў індывідуальныя кантэйнеры ў асяроддзі інэртнага газу.

Пасля гэтага пласціны могуць паўторна выкарыстоўвацца ў працэсах эпітаксіяльная нарошчвання.

Калі колькасць адноўленых пласцін недастаткова для задавальнення вашых патрэбаў у іх, у МНДIРМ  можа быць выраблена адсутнічае колькасць пласцін з адпаведнымі характарыстыкамі.