Фоташаблоны пад фоталітаграфію
Генератар малюнкаў (ГМ) лазерны шматканальны ЭМ-5189-02 прызначаны для фарміравання тапалагічных структур на паўправадніковых пласцінах і фоташаблонных нарыхтоўках - вырабу фоташаблонаў, у тым ліку забяспечвае выраб фоташаблонаў на нарыхтоўках да 8 цаляў, выраб фоташаблонаў з мінімальным памерам элемента 0,6 мкм.
Генератар ставіцца да прылады 5-га пакалення-узровень тэхналогіі-350 нм.
ГМ забяспечвае выраб вырабаў пад тэхналогію фоталітаграфіі з выкарыстаннем фотарэзістаў, вобласць максімальнай адчувальнасці якіх знаходзіцца ў вобласці блізкага УФ-выпраменьвання. Малюнак фармуецца сфакусаваным лазерным выпраменьваннем з даўжынёй хвалі 355 нм.
ГМ фармуе малюнак на нарыхтоўках, якія задавальняюць наступным патрабаванням:
- паліраваныя падкладкі-з тыпаразмерамі
- шкляныя падкладкі для металізаваных фоташаблонаў з матэрыялу з нізкім і вельмі нізкім каэфіцыентам цеплавога пашырэння-з тыпаразмерамі
Генератар дазваляе не толькі задавальняць патрэбы мікраэлектронікі, але і выкарыстоўвацца для вырабу масак з ужываннем іх пры вытворчасці аптычных прыбораў і ВК-экранаў.
Характарыстыкі атрымліваемых фоташаблонаў:
* мінімальны памер элемента .....................................0,6 мкм,
* няроўнасць краю элемента. ................не больш за 0,3 мкм,
* скругленыя кута элемента....................не больш за 0,5 мкм,
* хібнасць стыкоўкі палос .........................не больш ±40 нм;
* хібнасць сумяшчэння ..............................не больш за ±70 нм.
Тыпы вырабляюцца вырабаў:
1. Фоташаблоны з железноокисным маскіравалым пакрыццём-які ўжываецца фотарэзіст Microposit S1813 з таўшчынёй плёнкі 0,5 мкм.
2. Фотошаблоны з хромавым маскіравалым пакрыццём-які ўжываецца фотарэзіст Microposit S1805 з таўшчынёй плёнкі 0,5 мкм.
Папярэднія ўмовы выканання магчымага заказу фоташаблонаў:
- арыенціровачныя тэрміны вырабу камплекты з 10 шаблонаў-10 рабочых дзён;
- прадстаўленне звестак аб тапалогіі - у электронным выглядзе ў фармаце ACAD не ніжэй 2010.
Канчатковыя тэрміны і кошт вырабу вызначаюцца ў працэсе падрыхтоўкі канкрэтнага замовы.
Назад у падзел