RU | BY | EN | Версия сайта для слабовидящих
Рэцыклiнг пласцін арсенід галія GaAs


Рэцыклiнг пласцін арсенід галія GaAs

Існуе цэлы шэраг разнавіднасцяў шлюбу паверхні пласцін арсенід галія, які ўтвараецца на розных стадыях вырабу паўправадніковых прыбораў.

Пры правядзенні працэсаў эпітаксіі, фоталітаграфіі, металізацыі і іншых частка пласцін адбракоўваецца і адбіраецца з тэхналагічнага працэсу. На паверхні такіх пласцін знаходзяцца пласты эпітаксіяльная плёнак, фотарэзіста, металу.

У ААТ " МІНСКІ НДІ РАДЫЁМАТЭРЫЯЛАЎ " распрацавана тэхналогія аднаўлення пласцін А3В5, якая рэалізуецца на ўласным вытворчым участку.

У рамках тэхналагічнага працэсу пласціны сартуюцца па відах деффектов, глыбіні парушэнняў, таўшчыні пласцін. Затым бракаваныя пласціны арсенід Галіі праходзяць ачыстку і хімічную апрацоўку паверхні.

У далейшым адбываецца выдаленне парушаных слаёў хіміка-механічнай паліроўкай вырабляецца предэпитаксиальная апрацоўка паверхні і пласціны пакуюцца ў індывідуальныя кантэйнеры ў асяроддзі інэртнага газу.

Пасля гэтага пласціны могуць паўторна выкарыстоўвацца ў працэсах эпітаксіяльная нарошчвання.

Калі колькасць адноўленых пласцін недастаткова для задавальнення вашых патрэбаў у іх, у МНДIРМ  можа быць выраблена адсутнічае колькасць пласцін з адпаведнымі характарыстыкамі.



Назад у падзел
вул. лейтэнанта Кіжаватава, 86-2 Мiнск, 220024
Рэспублика Беларусь
Тэл.: 8 (10-375-17) 270 96 06
Факс: 8 (10-375-17) 270 96 11
e-mail: mniirm@mniirm.by
Рэжым працы: 8.20 - 17.00