Праектаванне і выраб фоташаблонаў для праекцыйнай фоталітаграфіі

Проектирование и изготовление фотошаблонов для проекционной фотолитографии

Генератар малюнкаў (ГМ) лазерны шматканальны ЭМ-5189-02 прызначаны для фарміравання тапалагічных структур на паўправадніковых пласцінах і фоташаблонных нарыхтоўках - вырабу фоташаблонаў, у тым ліку забяспечвае выраб фоташаблонаў на нарыхтоўках да 8 цаляў, выраб фоташаблонаў з мінімальным памерам элемента 0,6 мкм.

Генератар ставіцца да прылады 5-га пакалення-узровень тэхналогіі-350 нм.

ГМ забяспечвае выраб вырабаў пад тэхналогію фоталітаграфіі з выкарыстаннем фотарэзістаў, вобласць максімальнай адчувальнасці якіх знаходзіцца ў вобласці блізкага УФ-выпраменьвання. Малюнак фармуецца сфакусаваным лазерным выпраменьваннем з даўжынёй хвалі 355 нм.

ГМ фармуе малюнак на нарыхтоўках, якія задавальняюць наступным патрабаванням:

паліраваныя падкладкі-з тыпаразмерамі 76 мм, 100 мм ;
шкляныя падкладкі для металізаваных фоташаблонаў з матэрыялу з нізкім і вельмі нізкім каэфіцыентам цеплавога пашырэння-з тыпаразмерамі 127 мм (5"), 152 мм (6") і 178 мм (7"), 215 (8") таўшчынёй ад 2.2 мм да 6.4 мм.

Генератар дазваляе не толькі задавальняць патрэбы мікраэлектронікі, але і выкарыстоўвацца для вырабу масак з ужываннем іх пры вытворчасці аптычных прыбораў і ВК-экранаў.

Характарыстыкі атрымліваемых фоташаблонаў:

Мінімальны памер элемента, мкм	0,6
Няроўнасць краю элемента, мкм, не больш за	0,3
Скругленыя кута элемента, мкм, не больш за	0,5
Хібнасць стыкоўкі палос, нм, не больш за	±40
Хібнасць сумяшчэння, нм, не больш за	±70

Тыпы вырабляюцца вырабаў:

1. Фоташаблоны з железноокисным маскіравалым пакрыццём-які ўжываецца фотарэзіст Microposit S1813 з таўшчынёй плёнкі 0,5 мкм.

2. Фотошаблоны з хромавым маскіравалым пакрыццём-які ўжываецца фотарэзіст Microposit S1805 з таўшчынёй плёнкі 0,5 мкм.

Папярэднія ўмовы выканання магчымага заказу фоташаблонаў:

арыенціровачныя тэрміны вырабу камплекты з 10 шаблонаў-10 рабочых дзён;
прадстаўленне звестак аб тапалогіі - у электронным выглядзе ў фармаце ACAD не ніжэй 2010.

Канчатковыя тэрміны і кошт вырабу вызначаюцца ў працэсе падрыхтоўкі канкрэтнага замовы.

Вярнуцца