Распрацоўка і выраб адчувальных элементаў і МЭМС-датчыкаў

Распрацоўка і выраб адчувальных элементаў і МЭМС-датчыкаў

Спецыялісты ААТ "МІНСКІ НДІ РАДЫЕМАТЭРЫЯЛАУ" могуць правесці АКР/НДР у галіне распрацоўкі розных МЭМС-датчыкі

Пры распрацоўцы і вырабе адчувальных элементаў-асновы інтэлектуальных датчыкаў-выкарыстоўваюцца сучасныя тэхналогіі мікрамеханікі:

• глыбокае анізатропнае і ізатропнай хімічнае тручэнне крэмнія;

• прэцызійныя тручэнне крэмнія;

• зварка "крэмній-Шкло»;

• тэхналогія стварэння высоколегированных р + слаёў з канцэнтрацыяй 1021см-3 як стоп-слаёў пры стварэнні мембран;

• тэхналогія злучэння дэталяў МЭМС датчыкаў з дапамогай лёгкаплаўкага шкла.

Названыя тэхналогіі выкарыстоўваюцца пры стварэнні:

• датчыкаў паскарэння да 10g кампенсацыйнага тыпу;

• датчыкаў кута нахілу з хібнасцю ±10 сек ў дыяпазоне ±10;

• датчыкаў ціску з хібнасцю 0,08%;

• хімічных датчыкаў для вызначэння Н2 і СА на ўзроўні адзінак ррм з магутнасцю спажывання ≤ 10 мвт.

ААТ "МІНСКІ НДІ РАДЫЁМАТЭРЫЯЛАЎ" валодае сучаснай тэхналагічнай і вытворчай базай неабходнай для правядзення працэсу 2-х іншай фоталітаграфіі на пласцінах Ø76мм і Ø100мм, уключаючы правядзенне ўсіх спадарожных аперацый звязаных з працэсам. А таксама мае магчымасць і вопыт прымянення 2-х іншай фоталітаграфіі для стварэння тапалогіі рознага ўзроўню складанасці, пры вырабе 2-х іншых друкаваных плат.