Проектирование и изготовление фотошаблонов для проекционной фотолитографии

Генератор изображений (ГИ) лазерный многоканальный ЭМ-5189-02 предназначен для формирования топологических структур на полупроводниковых пластинах и фотошаблонных заготовках - изготовления фотошаблонов, в том числе обеспечивает изготовление фотошаблонов на заготовках до 8 дюймов, изготовление фотошаблонов с минимальным размером элемента 0,6 мкм.

Генератор относится к устройству 5-го поколения – уровень технологии - 350 нм.
ГИ обеспечивает изготовление изделий под технологию фотолитографии с использованием фоторезистов, область максимальной чувствительности которых находится в области ближнего УФ-излучения. Рисунок формируется сфокусированным лазерным излучением с длиной волны 355 нм.
ГИ формирует изображение на заготовках, удовлетворяющих следующим требованиям:

полированные подложки - с типоразмерами 76 мм, 100 мм ;
стеклянные подложки для металлизированных фотошаблонов из материала с низким и очень низким коэффициентом теплового расширения - с типоразмерами 127 мм (5"), 152 мм (6") и 178 мм (7"), 215 (8") толщиной от 2,2 мм до 6,4 мм.

Генератор позволяет не только удовлетворять потребности микроэлектроники, но и использоваться для изготовления масок с применением их при производстве оптических приборов и ЖК-экранов.

Характеристики получаемых фотошаблонов:

Минимальный размер элемента, мкм	0,6
Неровность края элемента, мкм, не более	0,3
Скругление угла элемента, мкм, не более	0,5
Погрешность стыковки полос, нм, не более	±40
Погрешность совмещения, нм, не более	±70

Типы изготавливаемых изделий:
1. Фотошаблоны с железноокисным маскирующим покрытием - применяемый фоторезист Microposit S1813 с толщиной пленки 0,5 мкм.

2. Фотошаблоны с хромовым маскирующим покрытием - применяемый фоторезист Microposit S1805 с толщиной пленки 0,5 мкм.

Предварительные условия исполнения возможного заказа фотошаблонов:

ориентировочные сроки изготовления комплекта из 10 шаблонов – 10 рабочих дней;
представление сведений о топологии – в электронном виде в формате ACAD не ниже 2010.

Окончательные сроки и стоимость изготовления определяются в процессе подготовки конкретного заказа.

Для оперативного решения возникающих вопросов организационного порядка Ваши специалисты могут обращаться непосредственно к начальнику отдела маркетинга и снабжения Михасевой Натальи Юрьевне тел. +375 (17) 270-96-25, моб.тел. +375 (33) 333-95-22, электронная почта marketing@mniirm.by

Back