Фаундри-услуги по созданию СВЧ МИС

Общество оказывает полный цикл фаундри-услуг по созданию (выполнение НИР и ОКР), изготовлению экспериментальных и опытных образцов, производству широкого перечня СВЧ МИС L-, S-, X- и К-диапазонов на материалах А3В5 по требованиям заказчика (частотный диапазон, коэффициенты усиления, шума, выходная мощность и т.п.).

Освоены следующие технологии:

• 200 нм рНЕМТ (пример: малошумящий усилитель);
• 200 нм DрНЕМТ (усилитель мощности 9-10 ГГц и усилитель мощности 30-36 ГГц);
• диодов Шоттки (модуль преобразователя частоты 6-18 ГГц и 14-22 ГГц, защитное устройство 2,5-12 ГГц);
• pin диодов (модуль защитного устройства 2-4 ГГц);
• гетероструктурных биполярных транзисторов GаAs.

Технологии включают полный набор операций, необходимых для изготовления СВЧ-устройств, которые позволяют производить пассивацию ВСВ и утонение пластин, формировать:

• активные элементы (транзисторы, диоды) с использованием электронной литографии;
• гальванические индуктивности с «воздушными» мостами;
• МДМ конденсаторы;
• тонкопленочные резисторы;
• сквозные отверстия.

Для устройств на керамике разработаны и используются технологии:

• формирования микрополосковых линий, выращенных гальваническим методом;
• тонкопленочных резисторов;
• металлизированных сквозных отверстий, как «глухих», заращенных металлом, так и открытых.
  

База схемотехнических решений для различных устройств и библиотека стандартных элементов институт позволяют проводить работы в сроки от 4 месяцев.

Сроки разработки фильтров на стандартных подложках - от 1 до 2 месяцев.

Для изготовленных образцов проводятся необходимые измерения на собственной стендовой базе Общества. Тестирование микросхем фильтров проводится на зондовой станции.

Наряду с размещением фаундри-заказов, в качестве отдельной услуги, заказчик могут воспользоваться возможностями производственных участков Общества:

• изготовления фотошаблонов под фотолитографию;
• изготовления пластин А3В5;
• лазерной резки керамических материалов;
• изготовление плат на керамических и полимерных пластинах;
• кристальной микросборки.

После завершения испытаний поставленных опытных образцов может быть оформлен заказ на изготовление согласованной партии СВЧ-устройств.

По вопросам получения дополнительной информации, оформления заказа обращаться в отдел маркетинга и снабжения, тел.+375 17 270-96-25, МТС +375(33)3339522.