|
Фаундри-услуги по созданию СВЧ МИС
Общество осуществляет изготовление широкого ассортимента СВЧ-устройств и элементов с использованием разработанных и освоенных в Институте технологий.
|
|
|
ФОТОШАБЛОНЫ ПОД ФОТОЛИТОГРАФИЮ
На генераторе изображений ЭМ-5189-02 (устройство 5-го поколения - уровень технологии - 350 нм) изготавливаются прецизионные фотошаблоны (минимальный размер элемента 0,6 мкм) на полированных и стеклянных подложках. |
|
|
|
|
|
