Юбилей института МИНСКОГО НИИ РАДИОМАТЕРИАЛОВ: 40 лет достижений. Развитие направления МЭМС-технологий в МНИИРМ.
RU | BY | EN
  • КАЧЕСТВО В ДЕТАЛЯХ

    КАЧЕСТВО В ДЕТАЛЯХ
  • СПЕЦИАЛИЗИРОВАННЫЕ ЭЛЕКТРОННЫЕ КОМПОНЕНТЫ

    СПЕЦИАЛИЗИРОВАННЫЕ ЭЛЕКТРОННЫЕ КОМПОНЕНТЫ
  • СОВРЕМЕННОЕ ОБОРУДОВАНИЕ 
<div> 
  <br />
 </div>

    СОВРЕМЕННОЕ ОБОРУДОВАНИЕ

  • СОВРЕМЕННОЕ ОБОРУДОВАНИЕ 
<br />

    СОВРЕМЕННОЕ ОБОРУДОВАНИЕ
22.09.2022

Юбилей института МИНСКОГО НИИ РАДИОМАТЕРИАЛОВ: 40 лет достижений. Развитие направления МЭМС-технологий в МНИИРМ.



В текущем 2022 году нашему институту исполняется 40 лет!

За эти годы институт из отраслевого проблемного научно-исследовательского отдела радиоматериалов МНИПИ прошел путь становления до научно-производственного комплекса, выпускающего не только отдельные электронные компоненты, но и системы.

Одним из важных направлений деятельности института на сегодняшний день является создание чувствительных элементов изделий с использованием наноструктурированных материалов, разработка и производство сенсорной техники на базе МЭМС-технологий.

Вспоминаем историю, составляем хронологию развития этого направления и подытоживаем основные результаты.

В 2005 г. ОАО «МИНСКИЙ НИИ РАДИОМАТЕРИАЛОВ» начал работы по новому научно-техническому направлению – разработке технологии и конструкции микроэлектромеханических датчиков, определяющих уровень приборостроения и систем управления.

Исследование и разработка интегральных МЭМС-датчиков, как основного элемента микроэлектромеханических систем, на основе планарной технологии была впервые проведена   в рамках Государственной программы научных исследований «Механика».

Коллектив разработчиков управления «Микромеханика» в составе ведущих инженеров Лобко Э.В., Марченко С.А., Матвеевой С.И., Бичиковой С.А., Чачукова Р.Ф., Сафрошкиной И.В., Марченко В.М. разработал технологию объемной обработки кремния на основе анизотропного травления с использованием оригинальных инженерных решений. Для создания микромеханических кремниевых чувствительных элементов интегральных датчиков было разработано более десяти новых технологических процессов, создана необходимая оснастка и подготовлена технологическая документация.

Дальнейшее развитие данное направление получило при выполнении опытно-конструкторских работ  «Акселерометр-1» и «Давление-1», выполняемых в рамках Научно-технической Программы Союзного Государства «Микросистемотехника».

В течение 2010-2013гг. коллективом управления «Микромеханика» были разработаны и изготовлены опытные образцы акселерометров компенсационного типа с магнито-электрическим уравновешиванием на ускорение до 10g с нестабильностью нулевого сигнала, не более 0,01% и датчиков виброрезонансного типа для измерения давления в диапазоне 8-2300 мм рт.ст. с погрешностью измерения, не более 0,02%.

Разработанные изделия предназначались для устройств инерциальных навигационных систем и системы курсо-вертикали соответственно.

Большой вклад в разработку конструкторской документации интегральных датчиков, стендов методик измерения и проведение измерений внесли ведущий инженер Повхлеб Е.Г., ведущий инженер-конструктор Радченко С.Н., инженер-электроник 1 категории Булло С.М.  и старший техник Грушевский А.Г.

Для проведения измерений акселерометров и датчиков давления ОАО «Планар» были разработаны и аттестованы высокоточные стенды.

В соответствии с программой Союзного государства, шифр «Технология СГ» в 2016-2020гг. разработана технология создания высокочувствительного ИК‑датчика на основе эффекта Зеебека для измерения мощности потока лучистой энергии. Ведущим инженером Сафрошкиной И.В., ведущим инженером Подковщиковым Н.Н., инженером-технологом II категории Рыжковской Д.С., старшим инженером Чачуковым Р.Ф. была разработана технология и конструкция и получены опытные образцы ИК-датчиков по МЭМС‑технологии.

Полученные результаты значительно превышают параметры, указанные в техническом задании и обеспечивают дальнейшее развитие ИК-датчиков, в том числе и для микрооптоэлектромеханических систем (МОЭМС).


Возврат к списку

ул. Лейтенанта Кижеватова, 86-2 Минск 220024
Республика Беларусь
Тел.: 8 (10-375-17) 270 96 06
Факс: 8 (10-375-17) 270 96 11
Режим работы: 09.00 - 18.00